Page 73 - 電路板季刊第107期

電路板季刊 2025.4 大陸面面觀 71

在整個顯影的過程中，為了提高顯 勻性以及填孔能力和藥水息息相關，在
影品質和良率，針對垂直線而言，整個顯 藥水的使用部分目前仍然以日本或者美
影段的噴盤需要上中下獨立噴壓或者流量 國體系藥水為主即：ABC三劑：光亮劑
控制，進而優化垂直線的垂流問題；同時 （Brightener）、載運劑（Carrier）和整
整個過濾系統也至關重要，尤其在顯影 平劑（Leveler），添加劑搭配設備的迴
段，二級過濾的應用不僅可以提高顯影精 圈添加系統，實現高均勻性的電鍍實現。
細線路的良率，更加能夠延長保養的週 在電鍍均勻性的控制中，對於panel
期，同時，二級過濾的使用，也讓濾芯的 而言，重點為四邊和中間區域的電流均勻
精度逐步從1um減小到0.5um左右甚至更 性差異，而為了減少這些差異，電鍍設備
細成為可能，由此，整個線路的精密程度 均採用JIG上下夾持導電的方式，而針對
和良率都得到較大的提升。 超薄產品，張力掛架的應用可以減少在鍍
除了本身設備的過濾設計能力外， 銅過程板件正背面和噴嘴的距離差異，從
線體的傳動機構採用齒輪和磁力傳動帶 而降低正背面的銅厚差異性。同時，陽極
來的異物風險也大不相同，下磁力傳動 或者陰極遮板也基本為標準的配置；另
方式更能實現高潔淨度的管理，而除了 外，為了進一步提高均勻性，設備段一般
藥水段和水洗段外，在風切和烘乾段的 會採用分段陽極或者分段陰極的做法來實
異物管理更是直接影響顯影後精細線路 現分區域電流控制，分段陰極的做法便於
的不良，因此，整個風切烘乾的過濾系 電流在整個銅缸內更加均勻的分佈，對於
統，風管，風刀材質的選擇，都需要從 整批次的均勻性效果較好，而分段陽極一
FM角度重點考慮，如有其他利於保養或 般會在產品的上中下分別根據銅厚的差異
者清潔的措施則更優。 採用不同的電流輸出，實現產品上中下的
另外，整個水洗的溫度，包括風切 均勻性；針對左右的均勻性控制部分，重
的溫度控制，對顯影後產品的外觀不良 點為控制整個銅缸內掛架的間距，間距的
影響較大，針對精密線路的產品或者對 一致性直接影響左右電流的分佈進而影響
外觀要求較高的產品，一般要求水洗以 銅厚差異，張力鏈條傳動或者伺服控制行
及風切的溫度做到recipe的自動調節，以 程均為較優做法，也有部分設備為了降低
實現高良率生產。 左右銅厚差異影響，採用犧牲電極的方
式，即在框架的左右增加導電金屬條分散
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電流，但對應帶來的問題就是退鍍的藥水
顯影後的電鍍一般採用 t r ay或者 消耗以及整個能耗的增加，針對未來ESG
magzine的方式進行上料，而電鍍的均 及碳中和的要求，是不利的。