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電路板季刊 2025.4       專業技術 25


            3.7 AIێɽؐʝஹ̙ቦܓમ͜ஷٛˆЕീᗡٙཥ಻ၾҷഛ(2)
                 右圖1是AI厚大26層板的盲通孔串菊鏈電測的另一種考試板,紅箭所示為電
                                                                                         圖1
                                                                                         圖
            流的路徑。下圖2是在上下兩端增層盲孔出現前,也就是內核板樹塞通孔完成兩
            次蓋銅後,其兩處蓋銅VIPPO的各種細節詳加標示與說明。上圖3又將關鏈處再
            用電腦翻倍6000X,此圖3是取自圖2右上局部經電腦再放大為6000X的畫面,可
            看到三次鍍銅前各起步銅微蝕線的對                                                                20 層內核板全環樹塞深通 孔
            比。顯然蓋二銅的起步銅線不但很細
            很好,而且還呈現罕見的藍線。說明
            其銅前酸是新換的Best Case,另兩
            條紅色者其銅前酸應已變藍了。
                                                                                  3000X
             圖2   兩次蓋銅Capping及超粗化                              兩次蓋銅Capping及超粗化 3000X        縱橫比
             圖
                            VIPPO              蓋二銅               VIPPO
                                          蓋一銅
                                         塞樹削平後的黑鈀與化銅                                        11:1


                                                                         刷磨造成的再結晶
              刷磨造成的再結晶             上下VIPPO二銅的藍色起步銅非常好全無砂銅                刷磨造成的再結晶
                                                                         刷磨造成的再結晶

                                                           塞樹削平後的黑鈀與化銅
                                                 蓋一銅
                                                       蓋二銅
                                                                      VIPPO
                                  VIPPO
                                        兩次蓋銅Capping及超粗化
            3.8 AIێɽؐʝஹ̙ቦܓમ͜ஷٛˆЕീᗡٙཥ಻ၾҷഛ(3)                                         兩次蓋銅Capping及超粗化
                 右圖1為AI厚大板電測用通盲孔串菊鏈(50串)的1串,刻意將
            上下外部增層數加多到8層所出現的堆疊盲孔,做為整串18處互連                                                    圖1
                                                                                  電 流
            多次強熱電阻值的在線監測點。圖2是把盲通孔串的上蓋銅區再放                                                 200X接圖
            大細讀,已看到盲底全無化銅砂銅的細紅線與三處拉鬆的寬紅線。
            圖3是刻意把上下兩蓋銅區併成單圖來判讀,於是當50條通盲孔串
            菊鏈電測阻值超過5%時,其16X50=800個盲底的責任很小,然而
            2X50=100個VIPPO蓋銅上下鬆散區才是超規的主兇。                                                    8+8+8 的




                                                                                              通盲孔串電測菊鏈 24 層板















                                                                                           電 流
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