Page 62 - 電路板季刊第111期
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60 專業技術 盲孔底部分離的判讀與檢討
素,譬如:鋁是一般常用的切片拋光粉,偵測到並不表示有雜質。但是如果過去偵
測到有溴,那就可能是基材殘留。現在採用無鹵基材,則偵測到磷或其他阻燃、基
材特殊元素,也可以認定是基材殘留。
• 一般SEM的切片容易受到機械切片研磨的干擾,可能會讓研磨碎屑擠進縫隙或掩蓋
裂紋,此時如果能採用FIB觀察,因其搭配了電子槍切割,可以排除一般機械研磨可
能的副作用,對於判讀有比較明確的幫助。
• 如果前述工作都確實執行,沒有殘留嫌疑,此時就該進入下一個介面偵測。這時候就
該兵分兩路,朝著化學銅處理與崎變海綿層假說探究,這兩個可能的問題現象進發。
• 先談化學銅,這個製程已經在電路板業使用近六十年,其實穩定度已經達到一定
的水準。後來業界又出現的直接電鍍製程,也可以用在MSAP製程,不過並不適合
SAP製程。過去二十多年,因為傳動式電鍍(水平/垂直式)的逐漸普及,化學銅也跟
著從傳統吊車設備轉向連續傳動處理設備。不過因為活化觸媒類型的差異,某些藥
水商嘗試用比較穩定的配方以求安定槽液,但在輸送過程搭配導電機構來強化孔銅
的成長。因此當檢討化學銅製程是否完善,應注意採用的配方、設備種類、藥水與
設備的維護狀況、化學銅成長的厚度與電鍍銅前停等時間等等。雖然筆者知道,非
SAP類電路板都可以用化學銅+電鍍銅連線的方式生產,但是其間的正常穩定仍然
值得關注。一般標準的化學銅沈積厚度應維持在0.5-1um左右,太薄太厚都不理想。
一般化學銅相對於電鍍銅,緻密度仍以電鍍銅較高,因此化學銅除非採用特殊配
方,否則不建議沈積過厚(化學銅的觸媒系統也分酸鈀/鹼鈀,這方面也會有差異,不
過水平系統多數用鹼鈀,要瞭解其差異,可以考慮閱讀拙作“電路板濕製程技術與
應用",有粗略的介紹) 。而過薄則可能覆蓋不足產生空洞,這樣遇酸仍有可能出現
破洞風險,對後續電鍍沈積結合力有降低的風險。
• 筆者稱崎變、海綿銅的想法為假說,主要立足點是源自於,如果金屬要產生回火、
擴散,需要有足夠高的溫度與足夠長的時間,這樣才有機會產生夠明顯的擴散、晶
格變化。筆者確實知道雷射可以用於產生這樣的回火作用。雷射做為回火處理的媒
介,源自雷射是目前最佳的能量傳遞媒介。不但可以用很高的能量密度傳送能量,
且可以定點定範圍的傳遞,也因此目前有部份高精密的焊接也在用雷射操作。問題
是融融與回火不同,目前所有各式用於電路板加工的雷射,加工速度都是以每秒上
千孔為基本單位。盲孔加工每孔的接觸時間會以千分之一秒以下的接觸時間運作。
這樣的模式要產生回火效應太難了。何況過去CO2雷射已經量產超過25年,這是高
溫高能量的雷射類型,如果過去都可以量產,且沒有直接證據呈現介面明顯晶格變
化,而UV雷射盲孔加工也已經量產多年。紫外與紅外兩端的雷射都有實際的量產實
績,現在落在兩者間的各式雷射,又開始說有崎變回火的跡象,恐怕不容易令人信
服,筆者這種說法,期待有懷疑金屬崎變的主張者,能提出直接的證據,譬如STM/
SEM之類的顯微照片,而不是透過猜測推理,這樣的判讀風險不低。

