Page 39 - 電路板季刊第109期

電路板季刊 2025.10 專業技術 37

減少光阻膨脹，讓藥液更容易滲入細微線路並包覆光阻形成微胞（如圖6）。這樣可以
有效提升厚膜與細線寬光阻的剝除率，同時降低光阻回沾造成的缺陷。

另外，剝除劑中也導入了金屬螯合基團，可在金屬表面形成保護層，提升抗蝕能
力。藉由這些設計，不僅能避免製程重工，還能降低能耗與碳排放。

圖7、ITRI低碳光阻剝除劑配方的設計

表一、去光阻劑種類比較表