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電路板季刊 2025.10 專業技術 59
電漿光譜技術的發展,為製程監控帶來了革命性的突破。光學發射光譜能提供即
時的「製程指紋」資訊,使技術人員能準確判斷製程終點、監控組成與材料變化,大
幅提升製程穩定性與產品良率。這種從被動分析轉向主動監控的模式,是實現智慧製
造的關鍵一步。其中水下電漿光譜分析技術,成功克服了傳統濕製程金屬離子檢測的
挑戰,能在數秒內同步檢測多種金屬。其高精度與極簡的樣品前處理流程,使其能直
接應用於產線的即時監控,確保製程穩定性與品質。此技術不僅解決了PCB濕製程中
金屬離子監測的痛點,也為水質管理與環境檢測提供了創新的解決方案。
展望未來,隨著小晶片(Chiplet)架構與CPO的快速興起,電漿技術的重要性
將持續提升。它在異質整合、光電耦合與高可靠度製程中的優勢,將使其成為PCB產
業與半導體、光電及材料廠更緊密合作的關鍵橋樑。電漿技術將朝向精準、低損傷、
智慧化發展,既能協助工程師從傳統製程角色轉型為系統整合的核心人才,更能推動
PCB產業走向更高附加價值與智慧化的未來。
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徐振哲:國立臺灣大學化學工程學系教授與台灣電漿科技協會理事長,其於2006
年取得加州大學柏克萊分校化工博士學位,並於2007年在加州大學洛杉磯分校化工系
進行博士後研究。他在電漿科學與工程研究領域擁有超過20年的經驗,其研究專長與
興趣涵蓋電漿分析與模擬,各式電漿系統的開發與應用,特別是電漿在水中重金屬檢
測技術等分析領域的應用,以及機器學習在電漿工程中的應用。
王靖元:國立臺灣大學化學工程學系的博士候選人。他於2018年畢業於中興大學
化學工程系,隨後在科盛科技擔任技術支援工程師,並於2023年取得臺大化工所碩士
學位。他在台灣大學期間,主要負責水下微電漿應用於水中金屬離子檢測之系統與方
法建構,是水下電漿系統的技術開發與原型機建構的核心人員。
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